手机显示屏的加工流程可以分为以下几个步骤,
(资料图)
1、在TFT基板上形成TFT阵列
1-1、涂敷透明导电膜和透明栅极膜
1-2、通过掩膜曝光和湿法蚀刻形成显示电极图案
1-3、通过掩膜曝光和干法蚀刻法形成栅极端部绝缘膜的接触孔图案
1-4、通过溅射成膜法形成源极、漏极以及信号线图案
1-5、通过PECVD法形成保护绝缘膜
2、在彩色滤光片基板上形成彩色滤光图案及ITO导电层
2-1、采用颜料分散法,将微细颜料分散在透明感光树脂中
通过涂敷、曝光、显影工艺方法,形成R、G、B三色图案
2-3、通过光蚀刻技术制作
3、基板对位粘接形成液晶盒
3-1、在上下基板表面分别涂敷聚酰亚胺膜并通过摩擦工艺,形成可诱导分子按要求排列的取向膜
3-2、在TFT阵列基板周边布好密封胶材料,并在基板上喷洒衬垫
3-3、在CF基板的透明电极末端涂布银浆
3-4、将两块基板对位粘接,使CF图案与TFT像素图案一一对正
3-5、经热处理使密封材料固化,在印刷密封材料时需留下注入口,以便抽真空灌注液晶
4、安装外围电路、组装背光源等的模块组装
4-1、安装TFT-LCD模组的FPC连接器
4-2、安装背光源模组
以上描述是TFT-LCD液晶屏的制造工艺流程,TFT阵列工艺是TFT-LCD制造工艺的关键,也是设备投资很多的部分,整个工艺要求在很高的净化条件下进行。此外,该流程中使用的工艺方法包括溅射成膜法、掩膜曝光、湿法蚀刻法、干法蚀刻法、PECVD法、光蚀刻技术等。
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